(1)涂敷涂液,把涂液涂敷在钛基体表面上,通常使用刷涂法,也可采用静电喷涂法、滚涂法等。
(2)烘干,每涂敷一次在红外灯,或远红外灯下烘烤,烘干温度一般在100一200 ℃,让溶剂徐徐挥发。烘干工序是为了把溶剂全部挥发掉,如果挥发不彻底,带人热氧化工序时,会影响涂层结合力和电极电化学性能。
(3)热氧化,在加热炉中在指定温度下煅烧10一15 min。热氧化温度过高,一方面使涂层中含氯量降至很低,涂层导电性能恶化;另一方面,使氧化物结晶体变大,晶粒过大会使涂层结合力下降,使其电化学性能恶化。
热氧化温度过低,氧化不完全,结合力差,得不到所需要的电催化性能。氧化温度影响涂层结构、成分和性能,一般在400℃以上,可得到金红石型结构的RuO2和TiO2固溶体。
涂层是铂族金属氧化物时,如RuO2,加热气氛必须是氧化性质的,还原气氛不合适。